Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices - Victor E. Borisenko - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781489918062 - 20 de junho de 2013
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Victor E. Borisenko
Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Microdevices Softcover reprint of the original 1st ed. 1997 edition

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Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.

384 pages, black & white illustrations

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 20 de junho de 2013
ISBN13 9781489918062
Editoras Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 358
Dimensões 155 × 235 × 20 mm   ·   535 g
Idioma Inglês  

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