Electroceramic-Based MEMS: Fabrication-Technology and Applications - Electronic Materials: Science & Technology - Nava Setter - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9780387233109 - 3 de março de 2005
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Nava Setter
Electroceramic-Based MEMS: Fabrication-Technology and Applications - Electronic Materials: Science & Technology 2005 edition

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Focuses on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications.

414 pages, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 3 de março de 2005
ISBN13 9780387233109
Editoras Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 414
Dimensões 155 × 235 × 23 mm   ·   839 g
Editor Setter, Nava

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