Design for Manufacturability with Advanced Lithography - Bei Yu - Livros - Springer International Publishing AG - 9783319203843 - 23 de novembro de 2015
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Bei Yu
Design for Manufacturability with Advanced Lithography 1st ed. 2016 edition

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This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL).

164 pages, 9 black & white illustrations, 91 colour illustrations, 35 black & white tables, biograph

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 23 de novembro de 2015
ISBN13 9783319203843
Editoras Springer International Publishing AG
Páginas 164
Dimensões 155 × 235 × 11 mm   ·   426 g
Idioma Francês  

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