Stress and Strain Engineering at Nanoscale in Semiconductor Devices - Maiti, Chinmay K. (SOA University Bhubaneswar, Odisha, India) - Livros - Taylor & Francis Ltd - 9780367519292 - 30 de junho de 2021
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Maiti, Chinmay K. (SOA University Bhubaneswar, Odisha, India)
Stress and Strain Engineering at Nanoscale in Semiconductor Devices 1º edição

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Based on 3D process and device simulations with mechanical stress simulations by finite element techniques, this book explains performance assessment of nanoscale devices with strained SiGe and other stressors. It explains the process-induced stress transfer and developments at 7nm technology and below node in the area of strain-engineered devices.

304 pages, 136 Line drawings, black and white; 3 Halftones, black and white; 23 Tables, black and wh

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 30 de junho de 2021
ISBN13 9780367519292
Editoras Taylor & Francis Ltd
Páginas 260
Dimensões 241 × 161 × 22 mm   ·   560 g
Idioma Inglês  

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