Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS - Stephanus Buttgenbach - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642129025 - 10 de março de 2011
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Stephanus Buttgenbach
Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS 2011 edition

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This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle.

456 pages, 319 black & white illustrations, 33 colour illustrations

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 10 de março de 2011
ISBN13 9783642129025
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 444
Dimensões 155 × 235 × 30 mm   ·   748 g
Idioma Francês  
Editor Burisch, Arne
Editor Buttgenbach, Stephanus
Editor Hesselbach, Jurgen

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