Modelling of Microfabrication Systems - Microtechnology and MEMS - Raja Nassar - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540002529 - 13 de junho de 2003
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Raja Nassar
Modelling of Microfabrication Systems - Microtechnology and MEMS 2003 edition

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This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

270 pages, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 13 de junho de 2003
ISBN13 9783540002529
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 270
Dimensões 155 × 235 × 17 mm   ·   562 g
Idioma Alemão  

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