Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology - Seongbo Shim - Livros - Springer Nature Switzerland AG - 9783030094553 - 8 de fevereiro de 2019
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Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology Softcover Reprint of the Original 1st 2018 edition

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 8 de fevereiro de 2019
ISBN13 9783030094553
Editoras Springer Nature Switzerland AG
Páginas 138
Dimensões 154 × 234 × 12 mm   ·   246 g
Idioma Alemão  

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