Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology - IOP Concise Physics - David C. Cox - Livros - Morgan & Claypool Publishers - 9781681740201 - 1 de outubro de 2015
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Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology - IOP Concise Physics

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This book describes modern focused ion beam microscopes and techniques and how they can be used to aid materials metrology and as tools for the fabrication of devices that in turn are used in many other aspects of fundamental metrology.


104 pages

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 1 de outubro de 2015
ISBN13 9781681740201
Editoras Morgan & Claypool Publishers
Páginas 104
Dimensões 253 × 178 × 8 mm   ·   163 g
Idioma Inglês  

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