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Science and Technology of Chemical Mechanical Planarization (CMP): Volume 1157 - MRS Proceedings Materials Research Society
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Science and Technology of Chemical Mechanical Planarization (CMP): Volume 1157 - MRS Proceedings
Materials Research Society
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
165 pages, illustrations
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 31 de março de 2010 |
| ISBN13 | 9781605111308 |
| Editoras | Materials Research Society |
| Páginas | 180 |
| Dimensões | 160 × 237 × 18 mm · 406 g |
| Idioma | Inglês |
| Editor | Balakumar, Subramanian |
| Editor | Higgs, III, C. Fred (Carnegie Mellon University, Pennsylvania) |
| Editor | Korach, Chad S. (State University of New York) |
| Editor | Kumar, Ashok (University of South Florida) |
