Chemical Vapor Deposition Polymerization: the Growth and Properties of Parylene Thin Films - Fortin, Jeffrey B. (Electronic Materials and Manufacturing Laboratory, Nisakyauna, New York, Usa) - Livros - Kluwer Academic Publishers - 9781402076886 - 30 de novembro de 2003
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Fortin, Jeffrey B. (Electronic Materials and Manufacturing Laboratory, Nisakyauna, New York, Usa)
Chemical Vapor Deposition Polymerization: the Growth and Properties of Parylene Thin Films 2004 edition

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Provides information on the deposition process and equipment, and on system-to-system variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. This book includes methods to characterize a deposition system's pumping properties and monitor the deposition process via mass spectrometry.

102 pages, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 30 de novembro de 2003
ISBN13 9781402076886
Editoras Kluwer Academic Publishers
Páginas 102
Dimensões 156 × 234 × 7 mm   ·   331 g
Idioma Inglês  

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