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Handbook of Silicon Semiconductor Metrology Alain C. Diebold 1º edição
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R$ 3.887,90
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Handbook of Silicon Semiconductor Metrology
Alain C. Diebold
Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs, this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, overlay, and dopant dose.
896 pages
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 29 de junho de 2001 |
| ISBN13 | 9780824705060 |
| Editoras | Taylor & Francis Inc |
| Páginas | 894 |
| Dimensões | 185 × 257 × 49 mm · 1,65 kg |
| Idioma | Inglês |
| Editor | Diebold, Alain C. |
