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Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS Varadan, Vijay K. (Pennsylvania State University, PA)
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Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS
Varadan, Vijay K. (Pennsylvania State University, PA)
Focusing on microstereolithography and other microfabrication for 3D MEMS, this volume discusses the principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices. It provides an account of the developments in related microfabrication and combined architecture techniques, illustrating their application in the engineering field.
274 pages, Ill.
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 14 de março de 2001 |
| ISBN13 | 9780471521853 |
| Editoras | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 274 |
| Dimensões | 160 × 232 × 21 mm · 530 g |
| Idioma | Inglês |
