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Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook JD Hogan
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Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook
JD Hogan
The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis.
200 pages, appendices, index
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 1 de dezembro de 1996 |
| Data do lançamento original | 1997 |
| ISBN13 | 9780471185987 |
| Editoras | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 200 |
| Dimensões | 161 × 241 × 16 mm · 503 g |
| Editor | Hogan, Jeremiah D. |
