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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan)
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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan)
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE).
388 pages, Illustrations
| Mídia | Livros Hardcover Book (Livro com lombada e capa dura) |
| Lançado | 26 de janeiro de 2007 |
| ISBN13 | 9780470016084 |
| Editoras | John Wiley & Sons Inc |
| Páginas | 392 |
| Dimensões | 157 × 235 × 26 mm · 762 g |
| Idioma | Inglês |
