Analysis and Design Principles of MEMS Devices - Bao, Minhang (Department of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, CHINA) - Livros - Elsevier Science & Technology - 9780444516169 - 1 de maio de 2005
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Bao, Minhang (Department of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, CHINA)
Analysis and Design Principles of MEMS Devices

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Sensors and actuators are part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic circuits. This book presents the analysis and design principles of MEMS devices.

328 pages, illustrations

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 1 de maio de 2005
ISBN13 9780444516169
Editoras Elsevier Science & Technology
Páginas 328
Dimensões 188 × 262 × 23 mm   ·   752 g

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