The Physics of Submicron Lithography - Microdevices - Kamil A. Valiev - Livros - Springer Science+Business Media - 9780306435782 - 31 de março de 1992
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Kamil A. Valiev
The Physics of Submicron Lithography - Microdevices 1992 edition

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In this method the device is imaged as a pattern on a metal film that has been deposited onto a transparent substrate and by means of a broad stream of light is transferred to a semiconductor wafer within which the physical structure of the devices and the integrated circuit connections are formed layer by layer.

493 pages, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 31 de março de 1992
ISBN13 9780306435782
Editoras Springer Science+Business Media
Páginas 493
Dimensões 178 × 254 × 25 mm   ·   1,09 kg
Idioma Inglês  

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